Elektronenstrahlmesstechnik mit Feldemissionsquellen
Projektleitung und Mitarbeiter
Beck, S. (Dipl. Phys.), Benez, A. (Dipl. Phys.), Herrmann,
K.-H. (Prof. Dr. rer. nat.), Uber, M. (Dipl. Phys.), Wahl, C.
Forschungsbericht :
1990-1992
Tel./ Fax.:
Projektbeschreibung
Fuer die Pruefung mikroelektronischer Schaltungen werden Elektronenstrahlen
eingesetzt, die wegen ihrer leichten Steuerbarkeit herkoemmlichen
mechanischen Verfahren weit ueberlegen sind. Die steigenden
Anforderungen an die Messgeschwindigkeit bei kleinsten
Strukturdimensionen lassen sich nur mit speziellen
Feldemissions-Elektronenquellen erfuellen. Die Arbeiten dienten der
Weiterentwicklung der physikalischen und der elektronenoptischen
Grundlagen des gesamten Systems sowie der Herstellungsverfahren der
feinen Emitterspitzen. Ausserdem wurde die wirkungsvollere Erfassung
der Sekundaerelektronen im Gegenfeldbetrieb mit Hilfe eines
Wienfilters untersucht, das den Primaerstrahl ungehindert durchlaesst
und die Sekundaerelektronen seitlich aus der Saeule in den Detektor
fuehrt.
Mittelgeber
Drittmittelfinanzierung: Fa. ICT, Muenchen
Publikationen
Beck, S.,
Herrmann, K.-H.: Measurements of virtual source sizes of ZrO/W field
emission cathodes and of lateral beam broadening in a low energy
SEM. - Proc. EUREM Granada 2, 7 -8 (1992).
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- Stand: 15.09.96
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